煙氣濕度在線測量主要有陶瓷感濕（干濕氧法）和阻容法兩種方式。

干濕氧法通過氧化鋯檢測器測定煙道的濕氧含量和在煙氣分析儀中內置的氧傳感器測定的經脫水后的干氧含量，根據標準換算方法可得到煙氣濕度,具有操作簡便、無需溫度穩定的優勢。但值得注意的是，現場無法提供同一測點的標準干氧，測量準確性存在一定偏差。同時依據氧化鋯的物理特性，如遇到工藝樣氣溫度猝然變冷，或含有大量水蒸氣時鋯管容易炸裂，且不宜測量含有還原性氣體的高溫煙氣，大大限制其在現場應用。

阻容法煙氣濕度儀是目前CEMS濕度測量中應用廣泛、成熟的技術，其測量原理是依據煙氣中含濕量變化與阻容法的電阻和電容值的變化間的函數關系，測量煙氣排氣中含有的水分量。該方法具有測量靈敏，方法簡單，受其他氣體干擾小的優點。阻容法測量煙氣濕度具有廣闊的發展前景。但其在高溫、強腐蝕性煙氣測量中需要注重對測量探頭的保護。此外，煙氣濕度隨煙氣溫度變化而發生變化，采用溫度補償還可減少水分測量的誤差，進一步測量的精度。阻容法濕度儀煙氣溫度測量范圍：0-180℃；煙氣濕度測量范圍：0-40%Vol。

      久尹科技發展（上海）有限公司生產的阻容法測量原理的濕度儀產品有HJY-350C、HJY-280C、HJY-180C、HJY-2300C等型號，采用DT的耐腐設計，可在高濕環境下實現長期在線氣體濕度儀的準確測量，測量精度高、耐弱酸、抗干擾能力強、響應速度快及性能穩定可靠等特點，目前廣泛應用于火電廠、鋼廠、化工廠等煙氣在線連續監測系統CEMS中脫硫脫硝煙氣濕度的測量，亦可應用于木材、建材、造紙、化工、制藥、纖維、紡織、煙草、蔬菜、食品加工行業的濕度測控。